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半導體電子設備

LCS系列立式旋轉沖洗甩干機

發布時間:2020-10-05 作者:魯超超聲 點擊:111次

LCS系列立式旋轉沖洗甩干機(圖1)

 

 

概述:

本機是主要應用于太陽能電池和半導體硅片等的沖洗甩干工藝環節,具有容量大、效率高的特點。

主要特點:

彩色液晶觸摸屏實時監控,可存儲多種工藝菜單。

腔體和轉架采用316不銹鋼,電化學拋光處理。

去離子水電阻率監控功能。

無刷電機驅動

氮氣溫度控制

轉軸氮氣密封

具有鎖蓋防護功能

故障診斷、顯示、報警功能

可提用戶特殊要求配置

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